
国家知识产权局信息显示,深圳市恒运昌真空技术股份有限公司申请一项名为“功分器参数调节方法、控制装置和混频输入阻抗调节电路”的专利,公开号CN122455623A,申请日期为2025年1月。
专利摘要显示,本申请公开了一种功分器参数调节方法、控制装置和混频输入阻抗调节电路。方法应用于混频输入阻抗调节电路,混频输入阻抗调节电路具有多个功分器和混频匹配模块,混频匹配模块用于接入多个射频信号并将多个射频信号进行混频处理且阻抗匹配后分别输出多个射频输入信号至每一功分器的输入端,功分器的输出端用于与等离子体腔室连接;方法包括:基于多个功分器的工况,生成对应每一功分器的性能评估结果;基于多个性能评估结果,生成对应多个功分器的标定优先级顺序;基于标定优先级顺序,确定多个功分器中的目标功分器,并基于目标功分器的阻抗参数调整剩余的至少一个功分器的阻抗参数。本申请旨在保证等离子体装置的工作性能。
天眼查资料显示,深圳市恒运昌真空技术股份有限公司,成立于2013年,位于深圳市,是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本6770.1688万人民币。通过天眼查大数据分析,深圳市恒运昌真空技术股份有限公司共对外投资了5家企业,参与招投标项目18次,财产线索方面有商标信息29条,专利信息358条,此外企业还拥有行政许可19个。
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本文源自:市场资讯
作者:情报员
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